Lieferprogramm

Reinstgas-BS

Für die höchsten Anforderungen im Bereich der Reinstgase, Prozeßgase und der Halbleiterfertigung haben wir diese besondere Berstscheibenreihe für VCR-Systeme entwickelt.
Die Berstscheibe wird anstelle der Dichtscheibe in eine VCR-Verschraubung eingelegt. Nach dem Ansprechen muss nur die Berstscheibe, nicht die Verschraubung erneuert werden. Minimale Helium-Leckraten von 10^-9mbar*l/sec und hohe Partikelfreiheit werden so garantiert. Je nach Anwendung wird zwischen einer Reißscheibe oder einer geprägten Ausführung unterschieden. Diese werden in den Größen 1/4" bis 1" gefertigt.
Als Materialien werden vorzugsweise Edelstahl, Nickel oder Nickelbasislegierungen verwendet.

 

 

 

Fragebogen/Spezifikation zur Berstscheiben-Auslegung
Fragebogen.pdf

(Bei Fragen stehen wir Ihnen unter Tel. 023 55 / 9271-0 gerne zur Verfügung)